Танталовые мишени
Танталовые мишени обеспечивают последовательные и воспроизводимые показатели процесса с высокой однородностью толщины. Благодаря устранению текстурной полосы во время изготовления образуется однородная микроструктура, которая обеспечивает улучшенную стабильность на начальном этапе и последовательность на протяжении всего срока службы характеристик распыления.
Что касается танталовых мишеней, то мы ориенированы на предложение их нашим клиентам с высоким диапазоном чистоты от 3Н до 5Н, с тонкой и однородной зернистостью, с устранением твердой текстурной полосы, и со стабильностью размеров мишеней начального этапа.
Металлические примеси и газообразные примеси наших танталовых мишеней были измерены авторитетными источниками известными по всему миру..
Кроме того, мы также предлагаем программу утилизации мелиорированных остатков мишеней.
Применение
Благодаря превосходной устойчивости к коррозии, прочности при высоких температурах и хорошей биосовместимости, танталовые мишени используются для большого количества областей применения тонкой пленки, таких как диффузионный защитный материал, устройства памяти, электроды затвора в MOП транзисторных устройствах, защитные покрытия на устройствах печатающих головок и защитный материал для проводки из медных проводов.
Химический состав танталовых мишеней
|
Химический состав Частей на миллион (ppm) |
||||||||||||
|
Описание |
Основной компонент |
Примеси максимум |
||||||||||
|
Ta |
Nb |
Fe |
Si |
Ni |
W |
Mo |
Ti |
O |
C |
H |
N |
|
|
Ta1 |
Остальное |
300 |
40 |
30 |
20 |
40 |
40 |
20 |
150 |
40 |
15 |
20 |
|
Ta2 |
Остальное |
800 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
|
TaNb3 |
Остальное |
＜35000 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
|
TaNb20 |
Остальное |
170000- 230000 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
|
Ta2.5W |
Остальное |
400 |
50 |
30 |
20 |
30000 |
60 |
20 |
150 |
50 |
15 |
60 |
|
Ta10W |
Остальное |
400 |
50 |
30 |
20 |
110000 |
60 |
20 |
150 |
50 |
15 |
60 |
Для получения подробной информации по цене товара, техническим характеристикам, срокам поставки и оплаты Вы можете связаться с нами по телефону, электронной почте или встретиться в нашем офисе.
Будем рады помочь вам и ответить на все ваши вопросы.